近日,ASML開始制造新一代極紫外(EUV)光刻機(jī),其每臺(tái)造價(jià)達(dá)到了1.5億美元,約合人民幣近10億元。ASML早在之前就表示,全新一代EUV光刻機(jī),也就是NA EUV光刻機(jī)可能會(huì)在2023年正式下線商用,其將會(huì)用于生產(chǎn)制造3nm、2nm等制程的芯片。
如今,ASML的全新一代EUV光刻機(jī)正式開始生產(chǎn)制造,這意味著新一代EUV光刻機(jī)來了,距離下線商用也更進(jìn)一步。新一代EUV光刻機(jī)技術(shù)更為先進(jìn),體積自然也更大,大約有一輛公共汽車那么大。整個(gè)機(jī)器包含10萬(wàn)個(gè)部件和2公里長(zhǎng)的電纜。每臺(tái)機(jī)器發(fā)貨需要40個(gè)集裝箱、3架貨機(jī)或者20輛卡車。
造好的組件將于2021年底運(yùn)往荷蘭維荷芬,然后在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機(jī)的第一臺(tái)原型機(jī)中。英特爾可能會(huì)使用這種新機(jī)器制造出第一批芯片。英特爾表示,預(yù)計(jì)將在2023年下線第一批芯片。憑借比以往任何機(jī)器所蝕刻的圖案尺寸更小,讓每個(gè)芯片都有數(shù)百億個(gè)元件,這臺(tái)機(jī)器在未來幾年所生產(chǎn)的芯片應(yīng)該是史上處理速度最快、效率最高的。