近日，在浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū)，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產(chǎn)線建設項目(以下簡稱“華虹六廠”)實現(xiàn)首臺工藝設備——光刻機搬入，標志著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調(diào)試階段。

　　在上海就能生產(chǎn)28納米芯片

　　作為上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目，華力12英寸先進生產(chǎn)線總投資387億元人民幣，計劃于2022年底建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線。

　　集成電路技術進步，一般用芯片集成度和微細加工精度兩個指標來衡量。芯片集成度，指單一芯片中所含有的晶體管數(shù)量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發(fā)展到目前的12英寸，并且18英寸也開始處于研發(fā)階段。從目前全球晶圓廠產(chǎn)能情況來看，12英寸生產(chǎn)線主要生產(chǎn)高性能產(chǎn)品，工藝技術更加先進，是目前的主流建設方向。行業(yè)知名咨詢機構IC Insights(集成電路觀察)分析認為，截至2016年底，300毫米(12英寸)晶圓占全球晶圓廠產(chǎn)能的63.6%，預計到2021年底將達到71.2%，其年均復合增長率為8.1%。

　　華力12英寸先進生產(chǎn)線工藝覆蓋28—14納米技術節(jié)點。目前，世界集成電路生產(chǎn)水平最高已達到7納米，主流生產(chǎn)線的技術水平為28—14納米，中國大陸集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝水平最高為28納米。華虹集團此前已擁有一條全自動的12英寸芯片生產(chǎn)線，目前主要采取的是55—28納米技術。相比第一條12英寸生產(chǎn)線，此次項目在技術工藝和產(chǎn)能兩方面都有所提升。

　　“中國大陸28納米芯片的產(chǎn)能非常少，未來4萬片月產(chǎn)能建成后，我國28納米芯片的產(chǎn)能將提升一倍。到時候，我們使用的高端芯片將有一部分來自國產(chǎn)，在上海就能生產(chǎn)28納米芯片，這對于我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義深遠?！鄙虾ＨA力微電子有限公司總裁雷海波說，28納米芯片的應用領域非常廣泛，比如手機通信、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能領域的高端芯片。該項目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，在這一技術基礎上，可以開發(fā)出射頻、高壓、嵌入式存儲器類芯片等許多產(chǎn)品，重點服務國內(nèi)設計企業(yè)先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

　　大陸最先進的浸沒式光刻機

　　此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進的浸沒式光刻機。

　　光刻機是芯片制造的核心設備之一，按照用途可以分為，用于生產(chǎn)芯片的光刻機、用于封裝的光刻機和用于LED制造領域的投影光刻機。在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，從而得到刻在硅片上的電路圖。簡單地說，就是將芯片設計的圖形從掩模版上“轉(zhuǎn)移”到涂在硅片表面的光刻膠上。

　　華力12英寸先進生產(chǎn)線建設項目首臺工藝設備的搬入，標志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地取得了階段性勝利，這對上海市落實《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》，同時對上海建設先進制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地，打響“上海制造”品牌有著重要意義。未來五個月內(nèi)，華虹六廠工藝設備將集中搬入，其中也包括一些國產(chǎn)設備，今年底前將完成生產(chǎn)線串線并實現(xiàn)試流片，預計月產(chǎn)能達到1萬片。

　　進入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營前列

　　“有點激動，也有點感動。”華虹集團黨委書記、董事長張素心說，自2016年12月30日開工以來，廣大建設者克服連綿陰雨、持續(xù)高溫等不利因素，實施立體和錯時施工。經(jīng)過約一年半的努力，每天工作12小時以上，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，比原計劃進度提前1個半月。

　　項目建成后，華虹集團將成為擁有覆蓋從0.5微米到14納米各工藝節(jié)點的大型集成電路制造產(chǎn)業(yè)集團，在產(chǎn)業(yè)規(guī)模和工藝技術上進入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營的前列。該項目已被列入國家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》，是國家“910工程”的子項目之一，也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項目和上海市重大工程，并實現(xiàn)了當年立項當年開工。